第三百四十七章 半导体产业会议

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    第三百四十七章 半导体产业会议 (第1/3页)

    六月二十六日,徐申学视察了海湾科技,看到了已经处于量产阶段的HDUV-600型光刻机。

    当天晚上,海湾科技也在官网上首次公开了新一代DUV浸润式光刻机HDUV-600进入量产的消息。

    并公布了该型光刻机已经交付了第一台给智云微电子,将会用于最先进的等效七纳米工艺。

    这也是海湾科技首次对外公布该型光刻机的消息,包括一些详细的技术参数。

    这个消息也引来了媒体、业内人士甚至普通人的诸多关注。

    当天晚上,七点半新闻重点报告了该消息:本台记者消息,我国先进半导体装备企业海湾科技有限公司已经完成了最新一代DUV浸润式光刻机的研发工作。

    新型的HDUV-600型光刻机已经达到国际领先水平,填补了我国尖端半导体装备领域的空白,有力促进了我国半导体制造行业的发展。

    海湾科技负责人王道林表示,HDUV-600光刻机的各项技术参数已经达到国际领先水平,乃是当下最先进的光刻机,可以用来制造最低七纳米工艺的芯片

    一项设备的研发成功,能够做到上七点半新闻报道的程度,那可不容易,很少有设备能够做到这种程度的。

    但是光刻机却是可以!

    实际上,这不是海湾科技第一次上七点半新闻,实际上之前在HDUV-400光刻机,也就是第一代DUV浸润式光刻机研发成功后,就已经上过七点半新闻了,而当时的报道时长更长,更重视,还伴随着重要人员的视察……

    当时电视报道画面,徐申学都只能站在一旁担任解说,为一群来宾介绍海湾科技的HDUV-400型光刻机,陈述该型光刻机的重要历史意义以及现实意义。

    现在报道HDUV-600型光刻机的待遇,说实话都差了点……不过好歹也是关键技术突破,所以常规报道还是会有的。

    HDUV-600型研发成功并交付量产,这让国内很多人,尤其是一些自诩业内人士都感叹:是我太保守了。

    前几年海湾科技搞出来HDUV-400型号光刻机的时候,也引起了一片舆论的狂欢,不少业内人士也积极参与讨论。

    当时也有相关的探讨,那就是:

    海湾科技的光刻机,什么时候才能够追上ASML的水准。

    毕竟当时的HDUV-400光刻机,其性能也就大概和NXT-1950相当。

    而NXT1950出现的时候,那已经是2008年的事了,而该款光刻机也是推动半导体的芯片工艺从以往的六十五纳米,下探到32/28纳米工艺的核心设备。

    或者说,正是因为有了这款光刻机,才让32/28工艺具备了大规模量产的可行性。

    海湾科技可是花了好多年才弄出来了核心性能相当,但是生产效率还差一些的HDUV-400型光刻机……但是,这款光刻机历史意义重大,因为该款光刻机的出现,意味着海湾科技突破了一系列DUV浸润式光刻机的关键技术。

    当时,人们所畅想的是,海湾科技继续努力,争取三年一个台阶,在解决28纳米工艺之后,三年内解决可以进行双重曝光,能够把工艺下探到10-22纳米工艺的光刻机。

    至于更进一步,甚至能够进行四重曝光的光刻机,乐观估计,五年内能够解决就是巨大的胜利。

    但是让人没有想到的是,海湾科技在突破了DUV浸润式光刻机的关键技术后,在小型号的快速迭代上进展迅速,几乎一年一个台阶。

    去年推出HDUV-500型光刻机,把套刻精度做到了三点五纳米,实现了双重曝光的基本需求,可以用来做十四纳米工艺的芯片,一开始的性能上基本和NXT1965相当,但是不太成熟。

    后来海湾科技推出了升级型号HDUV-500A,虽然工作台产能一样,不过性能更好,更稳定,这款光刻机的性能除了产能低一些,其他性能指标基本上和NXT1970持平。

    而智云微电子以及隔壁的中芯,还有国内其他一些芯片厂商大规模采购的海湾科技的先进光刻机,其实都不是HDUV-500型号,而是HDUV-500A型。

    去年搞出来500型号就已经够夸张的了,结果海湾科技愣是在今年六月份的时候,就交付了更新一代的HDUV-600型,把套刻精度直接拉到了二点五纳米的水准。

    这一型号的核心性能水准,已经和NXT1980相当了……虽然还是有着老毛病,因为工作台不太行,所以生产效率低,后续的维护也会比较麻烦,但是还是太吓人了。

    而要知道,虽然去年ASML就已经搞出来了NXT1980光刻机,但实际上大规模出货也是在今年年初而已。

    而海湾科技的同级别光刻机大规模出货,则是迟了半年左右!

    这意味着,双方之间的差距从之前的十多年,再到四五年,然后又缩小到了现在的半年。

    这一系列的技术进步速度,让很多人都感觉到不可思议。

    别说外人不信了,自己人都不信……太尼玛夸张了。

    因此很多人也怀疑,海湾科技是不是抄袭了ASML的技术……还别说,他们没怀疑错,海湾科技还真就直接对着ASML的光刻机抄。

    抄就抄了,也没啥好丢人的,毕竟技术路线就那么几条,总不能人家在前头走过的路,海湾科技就不能走了啊。

    徐申学也好,海湾科技的研发人员也好,从不避讳这些,能抄就抄,抄不了硬抄……银河安保那边每年都送回来不少技术资料呢,这些技术资料不少都是带着血的,你说不抄就不抄啊?

    再者光刻机这东西,原理其实全世界都知道,甚至详细结构的示意图这些都能直接在互联网上搜索到。

    但是知道原理,知道结构的人多了去,然而能够真正做出来这种级别光刻机的厂商,目前只有两家:ASML以及海湾科技。

    这种级别的东西,把所有详细设计图全部送给你抄,还手把手教

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