第二十章 真空镀膜(上)
第二十章 真空镀膜(上) (第2/3页)
修起来也麻烦,上次循环水出了故障,他们过来修,路费就要了五千。”陈婉清。
“学姐怎么知道的这么清楚?”许秋疑惑道。
“因为学校要统计实验室的固定资产,价格超过1000元的都要统计上报。实验室虽然是魏老师管,但所有权是归国家的,因为申请的科研经费是国家出的。除非是老板自掏腰包或者企业出钱,那就另说。”陈婉清道。
许秋点点头,开始打量舱体内部。
下面有四个圆柱体形状的炉子,应该是束源炉。
四个束源炉旁边有两个金属平台,每个平台上面都有一块金属板,大概六厘米长,三厘米宽,一厘米厚,金属板通过六角螺丝与平台连接,中间有一定的缝隙。
“学姐,这个是干什么用的?”许秋指着平台问道。
“这个是电流加热装置,将用钨丝制成的篓,放在两个平台间,用金属板压住钨篓两端,通电流对钨篓加热,可达到很高的温度,使其内部靶材气化,进行蒸镀。”陈婉清道。
许秋继续看向舱体,中间部分有一探头状的物体,像个吊灯一样悬挂在束源炉和平台的上方。
学姐顺着许秋的目光看去,主动介绍道:
“这个是晶振装置,探头处装有晶振片,用来实时检测蒸镀的薄膜厚度。它的位置一定不能乱动,因为现在的参数是已经标定过的,如果移动了它的位置,对膜厚的检测结果就不标准了。此外晶振片也是有寿命的,所以需要定期更换晶振片,并重新标定厚度。”
舱体最上面是一块大的圆形金属挡板,以及一个可以旋转的样品台。
“上面这个肯定是样品台了,为什么下面要加装一块金属挡板呢?”许秋问道。
“这块金属挡板叫做样品挡板,当他处于开启状态时,可以有效阻挡气体分子沉积在样品表面。因此,我们可以利用它,控制蒸镀的开始和结束时间,得到精确的厚度。”陈婉清道。
将舱内情况了解完毕后,许秋开始做蒸镀前的准备工作。
两批基片的器件结构不同,需要分两次进行蒸镀。
第一批是正常结构,也就是蒸镀钙和铝。
许秋首先在钨篓中装满99.995%纯度
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