第二十八章 主动加班
第二十八章 主动加班 (第3/3页)
涂氧化锌预聚体溶液,退火后得到24片ITO/氧化锌基片。
看了下时间,已经三点多了。
他想了想,决定今天还是加个班,把这一批器件做完然后测出来。
继续旋涂有效层,一共15种实验条件,每种都至少要保证有一片。
正常旋涂操作比较简单,许秋没有失误,都得到了均匀覆盖整个基片的薄膜。
喷涂法难度较大,而且他之前花500积分兑换的是一次性的教学,现有的积分也不足以再次兑换。
没有了系统的实时指导,许秋只能只能凭借脑海中的记忆,自行摸索条件。
第一次,他像正常旋涂操作那样,将移液枪垂直于基片,直接喷涂,最终在薄膜的中央形成了一个大洞。
第二次,他将移液枪斜着喷涂,结果操作过程中手抖了一下,最终薄膜上出现了明显的分层。
两次实验失败后,许秋决定先用玻璃片代替ITO基片试试手感。
喷涂法比较节省溶液,1毫升溶液可以喷涂40次以上,而旋涂只能15次左右,所以也不怕浪费。
他使用上次剩下的溶液,经过十几次的练习后,终于总结出了操作诀窍:
先将移液枪头从中间剪断,吸取20微升溶液,按下匀胶机的启动键;
然后在枪头距离基片约5厘米的地方,瞄准基片边缘,以约45度夹角,瞬间将全部溶液挤出;
整个过程中,手抖动幅度不能过大,而且溶液挤出的速度一定要快。
数了下剩余基片数量:一共24片基片,用掉了17片,还剩下7片。
许秋思索片刻,决定将实验组B的条件变更为:
氯仿(10毫克每毫升,1:1)、氯苯(16毫克每毫升,1:1)、二氯苯(20毫克每毫升,1:1);转速1000、1200、1500;喷涂法。
这样,刚好可以再用掉6片基片,还余下1片。
接下来的实验没出什么意外,许秋将旋涂完成的基片溶剂退火、热退火、擦片。
接着转移至另一手套箱,装好后,启动蒸镀装置,开始抽真空。
最后回到办公桌休息,坐等五点半。